【48812】完结3D芯片所选用的不同技能(一)

  浏览量2024-05-29 作者: 安博体育注册手机客户端

  咱们要跟上技能科技的开展,才干不被年代所替代,不论是什么职业,关于现在的科技开展都是需求多了解的,包含现在比较火的3D芯片技能,这其间所用的技能你知道有哪些吗?

  在这种3D集成技能中,至少一个裸芯片与另一个裸芯片堆叠在一起。下部裸芯片运用TSV技能,上部裸芯片经过TSV与下部裸芯片和SiP基板通讯 。

  以上技能触及在芯片处理完结之后堆叠以构成3D。实际上,它不能被称为线D IC技能。这一些办法绝大多数都是在封装阶段进行的,咱们我们能够称其为3D集成,3D封装或3D SiP技能。

  BiCS 工艺选用了一种先栅极办法(gate-first approach),这是经过替换堆积氧化物(SiO)层和多晶硅(pSi)层完结的。然后在这个层堆叠中构成一个通道孔,并填充氧化物-氮化物-氧化物(ONO)和 pSi。

  然后堆积光刻胶,经过一个接连的蚀刻流程,光刻胶修整并蚀刻出一个阶梯,构成互连。最终再蚀刻出一个槽并填充氧化物。

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