作为LEEM使用时，从电子束照耀体系发射出的入射电子束，经过电子束分离器被偏转60度，经过物镜后在抵达样品前被敏捷从高能量减速到几个eV，被减速后的低能量电子和样品相互作用经过弹性散射后，从样品外表被反射出来，然后从头被加快为高能量电子，再经过电子束分离器偏转到反方向的成像透镜体系来进行成像。
PEEM/LEEM作为一种实时、动态、原位的外表研讨新技术，在催化、动力、纳米科学、生物、微电子、资料等范畴有着重要的使用。
LEEM可以在极低的电压下作业，极低电压可以最大极限保护被调查样品活性或外表状况，取得更多有价值的科学数据。
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